Интенсивное развитие микроэлектроники обусловило образование в 1981 году кафедры с одноименным названием. В связи с расширением номенклатуры направлений подготовки студентов и развитием научных исследований для наноиндустрии кафедра переименована в "Нано- и микроэлектроника" в 2007 году.

   В настоящее время кафедра осуществляет подготовку бакалавров по направлениям:

11.03.04 "Электроника и наноэлектроника"

28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника"

Магистров по направлению 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника".